Gaz électroniques

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En tant que gaz, les propriétés spéciales de l'hélium sont utilisées dans plusieurs industries et procédés tels que la fabrication des semi-conducteurs et la nanotechnologie.

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L'oxygène de haute pureté est utilisé pour la formation du dioxyde de silicium et de l'oxyde de métal, en tant que réactif d'attaque pour la photorésine, et dans les mélanges avec des halocarbures pour graver le silicium.

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